掃描電子顯微鏡是一種介于透射電子顯微鏡和光學(xué)顯微鏡之間的一種觀察手段。其利用聚焦的很窄的高能電子束來掃描樣品, 通過光束與物質(zhì)間的相互作用, 來激發(fā)各種物理信息, 對這些信息收集、放大、再成像以達(dá)到對物質(zhì)微觀形貌表征的目的。
掃描電鏡具有景深大、分辨率高, 成像直觀、立體感強(qiáng)、放大倍數(shù)范圍寬以及待測樣品可在三維空間內(nèi)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)和傾斜等特點。另外具有可測樣品種類豐富, 幾乎不損傷和污染原始樣品以及可同時獲得形貌、結(jié)構(gòu)、成分和結(jié)晶學(xué)信息等優(yōu)點。
基本結(jié)構(gòu)：
掃描電鏡主要是由電子光學(xué)系統(tǒng)和顯示單元組成，它是由電子槍、磁透鏡、掃描線圈以及樣品室組成。電子槍與透射電鏡的電子槍基本相同，只是加速電壓較低，一般在40kV以下。
磁透鏡有第一、二聚光鏡和物鏡，其作用與透射電鏡的聚光鏡相同：縮小電子束的直徑，把來自電子槍的約30μm大小的電子束經(jīng)過第一、二聚光鏡和物鏡的作用，縮小成直徑約為幾十埃的狹窄電子束。
這是由于掃描電鏡的分辨率主要取決于電子束的直徑，所以要盡可能縮小它，為此，物鏡還裝備有物鏡可動光欄和消散器。一個帶有掃描電路的偏轉(zhuǎn)線翻通以鋸齒波的電流，產(chǎn)生的磁場作用于電子束使它在樣品上掃描。
掃描電鏡的真空系統(tǒng)也與透射電鏡的真空系統(tǒng)相似，由機(jī)械泵、擴(kuò)散泵、檢測系統(tǒng)、管道及閥門等組成。樣品室位于鏡筒的底部。為了能觀察大塊樣品，樣品室是大于透射電鏡的。與透射電鏡一樣，掃描電鏡的鏡筒也有一套合軸調(diào)整裝置，但相對比較簡單。
顯示系統(tǒng)包括信號的收集、放大、處理、顯示與記錄部分。顯示和記錄部分包括兩個顯像管和照相機(jī)。一個顯像管是長余輝的，用于觀察;另一顯像管是高分辨率的、短余輝的，用于照相。
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